Mikrotechnische Sensoren und Aktoren 

Die Vorlesung behandelt die Grundlagen mikrotechnischer Fertigungsverfahren, um die Möglichkeiten für die Konzeption und Realisierung von Sensoren und Aktoren aufzuzeigen. Als Grundlage werden zuerst typische Werkstoffe der Mikrotechnik vorgestellt. Von zentraler Bedeutung ist dabei Silizium, welches als Konstruktions- wie auch als Funktionswerkstoff zum Einsatz kommt. Als Sensor wie auch als Aktor kann Piezokeramik eingesetzt werden, die daher neben Formgedächtnislegierungen genauer besprochen wird. Im zweiten Teil der Vorlesung werden unterschiedliche Fertigungsverfahren vorgestellt. Dabei nehmen Verfahren aus der Chipherstellung wie Lithografie und Beschichtungsverfahren den größten Raum ein. Aber auch typische Verfahren der Mikrotechnik, wie Oberflächentechnik, Laserbearbeitung und Ultrapräzisionsbearbeitung werden behandelt. Im dritten Teil werden Anwendungsbeispiele besprochen um den Einsatz von mikrotechnischen Aktoren wie Piezoantriebe, Dosiersysteme aber auch Sensoren, wie Beschleunigungssensoren, chemischen Sensoren und optischen Sensoren, zu demonstrieren.

 

Aus gegebenen Anlass: Auch im SS 21 online !! - Die entsprechenden Unterlagen finden Sie im zugehörigen Moodle-Kurs

 

Vorlesung SS 21:

Donnerstags 13.00 Uhr bis 14.30 Uhr  (1. 'Vorlesung' am 15.04.2021)

Übung SS 21:

Donnerstags 14.30 Uhr bis 15.15 Uhr  (1. 'Übung' am 22.04.2021)

Skript:

Erhältlich im Skriptenverkauf der Fachschaft Maschinenwesen oder zum Download auf Moodle

Prüfung:

Voraussichtlich Dienstag, 03.08.2021, 11:30 - 13:00, MW 2001

Betreuung:

Downloads zur Vorlesung:

Stehen bei moodle zur Verfügung